光學器件本身的像差，會引起激光打標機掃描圖形的失真。常見的有枕形失真、桶形失真和枕-桶形失真。

對于動態聚焦方式的激光打標機振鏡式激光掃描系統，其數學模型則為一個個精確掃描模型，在不考慮光學誤差以及機械安裝誤差等誤差的情況卜，對于掃描的罔形應該是不失真的，但由于這些誤差是不可避免的，因此采用動態聚鍍：方式的振鏡式激光掃描系統在掃描圖形時會產生失真。這類失真一般通過多點校iF方法即校準。

而對于采用F-theta透鏡聚焦方式的激光打標振鏡式激光掃描系統，則很難找到一個精確的掃描模型oF-theta透鏡在焦距較長情況下的像差加大，尤其在fJ描圖形接近F-theta透鏡邊緣時，圖形失真越加明顯。在這種情況下，僅僅通過多點校正方法很難實現圖形的校準，因此必須在進行多點校正前，先對掃描圖形進行整形，在將掃描圖形的最大偏差控制在一定范圍內（如掃描點的最大偏差小于5mm）后，再通過多點校正方法對圖形進行精確校準。